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陽極氧化時氧化膜燒蝕是由制件或夾具的表面已生成的氧化膜被電流擊穿引起的，氧化膜之所以會被擊穿，通常與以下三個方面原因有關：
(1)夾具截面積過小，而所夾的制件表面積又較大的情況下，陽極氧化時制件所需通過的電流強度因負荷過大，引起夾具溫度上升，致使膜層的溶解速度快于生成速度，最后導致燒蝕。
(2)夾具裝夾欠牢固。當夾具彈夾力差時(通常由夾具過細或制件夾具的鋁質過軟)，所夾的制件在陽極氧化時，若溶液同時又有壓縮空氣攪拌的，則裝夾處易引起松動，從而產生熱量，最后導致出現與(1)同樣的后果。
(3)夾具使用前未經退膜處理。所用夾具若原先陽極氧化時生成的氧化膜未曾退除干凈，則不能傳導電流，但當裝夾時若膜層遭到損傷，則此處有可能導電，但由于接觸面積很小，時而通上電流，時而脫電，這一部位也會由此而產生熱量，結果會損傷膜層而遭燒蝕。
