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工業(yè)VOCs廢氣處理中熱分解工藝一般分為直燃（TO）、蓄熱焚燒（RTO）、催化燃燒（CO）、蓄熱催化燃燒（RCO）四種，只是燃燒方式和換熱方式的兩兩組合不同，主要是用于處理吸附濃縮氣，也可以用于直接處理廢氣濃度大于3.5g/m3的中高濃度廢氣。
TO是將高濃度廢氣直接送入燃燒室直接燃燒，高溫燃燒氣通過(guò)換熱器與新進(jìn)廢氣間接換熱后排掉，換熱效率一般低于60%，導(dǎo)致運(yùn)行成本很高，只有少數(shù)能有效利用排放預(yù)熱或有副產(chǎn)燃?xì)獾钠髽I(yè)中應(yīng)用。RTO的燃燒方式和TO相同，只是將換熱器改為蓄熱陶瓷，高溫燃燒與新進(jìn)廢氣交替進(jìn)入蓄熱陶瓷換熱，熱利用率達(dá)到90%以上，運(yùn)行成本較低，是目前的主流工藝。
CO是有機(jī)廢氣源通過(guò)引風(fēng)機(jī)作用送入凈化裝置換熱器換熱，再送入加熱室，通過(guò)電加熱裝置，使氣體達(dá)到催化反應(yīng)溫度，并在催化室內(nèi)催化劑的作用下，分解成CO2和H2O。有機(jī)廢氣分解的過(guò)程為放熱反應(yīng)，反應(yīng)后的氣體再進(jìn)入換熱器與低溫氣體進(jìn)行熱交換，使進(jìn)入的氣體升溫預(yù)熱。加熱系統(tǒng)僅需通過(guò)自控系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)補(bǔ)償加熱，即可完全燃燒，節(jié)省能源，且廢氣有效去除率達(dá)到95%以上RCO和CO燃燒方式相同，換熱方式與RTO相同，投資堪比RTO且處理廢氣種類受催化劑影響，種類少于RTO。
綜上所述，這就是現(xiàn)行工藝主要是RTO和CO的原因。那RTO與CO在必選方面又有什么不同呢？
廢氣種類上：含硫磷類廢氣會(huì)使CO中毒，不能用CO。忽略少部分硫磷類廢氣的燃燒腐蝕可以限制性使用RTO。兩種工藝都不能處理含鹵代烴廢氣，避免產(chǎn)生二噁英。含硅烷類廢氣使用要注意考慮二氧化硅的堵塞問(wèn)題。RTO預(yù)處理要達(dá)到F6級(jí)，CO預(yù)處理僅需G4 級(jí)別。
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